Năm 1654, Otto von Guericke đã phát minh ra máy hút bụi đầu tiên và thực hiện thí nghiệm Magdeburg nổi tiếng của mình, cho thấy các đội ngựa không thể tách hai cầu từ mà không khí đã được di tản một phần. Robert Boyle đã cải thiện thiết kế của Guericke và với sự giúp đỡ của Robert Hooke phát triển công nghệ máy hút bụi phát triển hơn. Sau đó, nghiên cứu vào phần hút chân không cho đến năm 1850 khi tháng tám Toepler phát minh ra máy bơm Toepler và Heinrich geissler đã phát minh ra máy bơm chuyển đổi thủy ngân vào năm 1855, đạt được một phần chân không của khoảng 10 PA (0.1:). Một số tài sản điện trở thành observable ở mức độ hút chân không này, đã làm mới quan tâm đến nghiên cứu xa hơn.
Máy hút không được tạo ra bởi máy bơm chuyển đổi thủy ngân là gì?
 một phần chân không của khoảng 10 PA (0.1:).