Máy đo ion được sử dụng trong máy hút bụi ultrahigh. Họ đến trong hai loại:  nóng âm cực và lạnh âm dương. Trong phiên bản nóng cực âm một sợi nóng điện có thể tạo ra một chùm electron. Các electron đi qua máy đo và các phân tử xăng ionize xung quanh họ. Các ion kết quả được thu thập tại một nguồn gốc tiêu cực. Hiện tại phụ thuộc vào số lượng ion, tùy thuộc vào áp lực trong máy đo. Các đo âm cực nóng là chính xác từ 10 − 3 Torr đến 10 − 10 Torr. Nguyên tắc đằng sau phiên bản âm cực lạnh giống nhau, ngoại trừ các electron được sản xuất trong một loại xả được tạo ra bởi một loại điện điện áp cao. Các đo âm cực lạnh là chính xác từ 10 − 2 Torr đến 10 − 9 Torr. calibration gauge cân chỉnh là rất nhạy cảm với hình học xây dựng, thành phần hóa chất của khí được đo lường, ăn mòn và các cọc bề mặt. Sự cân chỉnh của họ có thể được vô hiệu hóa bằng cách kích hoạt tại áp lực khí quyển hoặc không chân không thấp. Thành phần của khí tại cao vacuums sẽ thường không lường trước được, vì vậy một khối lượng khối lượng phải được sử dụng kết hợp với máy đo ionization cho đo lường chính xác.
Điều gì phải được sử dụng để đo lường chính xác về thành phần khí chất tại một vacuums cao?
khối lượng khối lượng phải được sử dụng kết hợp với máy đo ionization